Peranti suis nanoelektromekanikal (NEM) berunsurkan grafin dan tiub nano karbon (CNT)

Abstract

Suis nanoelektromekanikal (NEM) mempunyai persamaan dengan suis konvensional semikonduktor apabila digunakan sebagai transistor dan penderia walaupun prinsip operasinya berbeza. Perbezaan prinsip operasi suis ini memberikan kelebihan kepada suis NEM untuk beroperasi dalam persekitaran yang melampau manakala suis konvensional semikonduktor mempunyai kelebihan daripada segi infrastruktur fabrikasi yang canggih. Dalam kertas ini, kami mengulas kemajuan terbaru dan potensi teknologi NEM dalam aplikasi pensuisan berdasarkan bahan berasaskan karbon seperti CNT dan grafin. Kemajuan reka bentuk geometri suis NEM seperti struktur rusuk berlubang, mempunyai kelebihan daripada segi voltan operasi peranti yang rendah, turut dibincangkan dalam kertas ini. Berdasarkan Kitaran Gemburan Gartner, teknologi, proses dan produk untuk suis NEM atau hibrid NEM-CMOS berada di takuk berbeza iaitu di jurang ilusi, cerun pencerahan dan dataran tinggi produktiviti. Kemudian, reka bentuk geometri suis NEM berasaskan bahan-bahan ini diulas dengan lengkap berdasarkan kajian kepustakaan terbaru. Kami mengenal pasti cabaran yang terlibat dalam proses fabrikasi suis NEM berasaskan CNT dan grafin seperti kebocoran get dan proses litografi yang mencabar. Kesimpulannya, kami meringkaskan kertas kajian ini kepada beberapa sudut perspektif, pandangan dan peluang pada masa depan dalam teknologi suis NEM.